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PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列雙開(kāi)口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學(xué)氣相沉積（CVD），其技術(shù)采用單軸氣動(dòng)執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)的L型運(yùn)動(dòng)。在L型運(yùn)動(dòng)中，隔板垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置——無(wú)需與閥體接觸——然...

PRECESS普瑞賽思真空傳輸門(mén)閥（V77系列）L-Motion密封與傳輸閥不同，只有一個(gè)真空室用于裝載或處理。因此，門(mén)的另一側(cè)始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對(duì)各自的應(yīng)用量身定制的...

PRECESS L-Motion 移位傳輸門(mén)閥適用于腐蝕工藝，如蝕刻或 CVD，通過(guò)單軸氣動(dòng)執(zhí)行器對(duì)閘門(mén)進(jìn)行 L 型運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在 L 型運(yùn)動(dòng)中，閘門(mén)垂直移動(dòng)到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...

PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥（AB系列）提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器（0.1s），它是在PVD，CVD，Etch和Ald等各種過(guò)程中進(jìn)行壓力控制的理想解決方案。板充當(dāng)節(jié)流元件...

Leybold萊寶電容薄膜真空計(jì)（CTR100）適用于腐蝕性工藝氣體。它能達(dá)到優(yōu)秀水平的精度（0.2%），通過(guò)陶瓷電容式傳感器進(jìn)行真空度測(cè)量。

Leybold萊寶熱陰極真空計(jì)（ITR90）是一款經(jīng)過(guò)優(yōu)化的組合變送器。通過(guò)將熱陰極電離傳感器（采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理）與皮拉尼傳感器相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn) 5×10-1...

Leybold萊寶線性壓力傳感器（DI200）是一款性能優(yōu)異的真空壓力測(cè)量?jī)x器。它堅(jiān)固耐用，防護(hù)等級(jí)為IP54，適用于惡劣環(huán)境。產(chǎn)品非常緊湊，只需要一個(gè)傳感器，采用電容式或壓電式傳感器。

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)（TTR101）的測(cè)量范圍從 5×10?? 到1500 mbar，能夠滿(mǎn)足從粗真空到高真空的測(cè)量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的測(cè)...

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(jì)（PTR90）精度高，外形小巧，占用空間小。它們采用杰出的技術(shù)，其真空測(cè)量能力達(dá)到很高水平。

德國(guó)Leybold萊寶數(shù)顯手持式真空計(jì)（TM101）測(cè)量范圍為 1200...5×10-4 mbar。Piezo/Pirani 復(fù)合真空計(jì)，帶有溫度補(bǔ)償功能，適合法蘭安裝。如果使用合適的電池...

INFICON英福康中低真空鎳絲皮拉尼真空規(guī)PSG500、PSG500-S、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S采用市場(chǎng)上先進(jìn)的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。測(cè)量范圍：5×10-4 … 1...

YUSEETECH氣體質(zhì)量流量計(jì)(YEC2000系列)是專(zhuān)為各類(lèi)低成本工業(yè)氣體進(jìn)行各種管理和控制而設(shè)計(jì)。該系列儀表可提供直觀的質(zhì)量流量信息，友好的用戶(hù)界面設(shè)計(jì) (RS485/ 4~20mA)可輕松的進(jìn)...

PSG010, PSG017, PSG018英?？担↖NFICON）耐高溫、耐輻射真空計(jì)，是一款無(wú)源皮拉尼真空計(jì)，有著悠久的歷史，與INFICON的VGC094真空規(guī)控制器配套使用。其測(cè)量范圍為：8&...